中国科学技术大学

关于发布国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2009年项目指南的通知

各有关单位：

依据《国家中长期科学和技术发展规划纲要》（2006-2020年）的部署，科技部近日发布了“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项2009年项目申报指南（http://www.most.gov.cn/tztg/200809/P020080917527240159425.doc），请有意申报的老师仔细研读通知内容，按要求积极申报。